欢迎光临! 联系QQ:664826461 手机:13715228626

深圳市熙源泰科技有限公司

咨询热线075583995250

prevnext

XPS-7半导体气体检测仪

  • 日本新宇宙COSMOS XPS-7半导体气体检测仪简介: X只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。 可以大幅度削减成本和维护时间。 日本新
  • 咨询热线:075583995250
  • 产品详情

日本新宇宙COSMOS XPS-7半导体气体检测仪简介:
 只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。
用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。
可以大幅度削减成本和维护时间。
日本新宇宙COSMOS XPS-7系列气体检测仪规格
型    号 XPS-7检测原理 定电位电解式
检测气体对象 半导体材料气体

XPS-7 半导体用气体检测仪

检测气体一览表:
型号 气体 F.S 分辨率 型号 气体 F.S 分辨率 型号 气体 F.S 分辨率
XPS-7NH NH3 200ppm 0.5 XPS-7GH GeH4 1ppm 48ppb XPS-7HS H2S 50ppm 0.5
XPS-7SH SiH4 25ppm 0.3 XPS-7CL CL2 5ppm 0.09 XPS-7CO CO 250ppm 0.5
XPS-7DC SiHCL3 25ppm 0.3 XPS-7CF CLF3 1ppm 0.3 XPS-7DS Si2H6 25ppm 0.45
XPS-7AS AsH3 250ppb 12 ppb XPS-7HC HCL 25ppm 0.3 XPS-7F2 F2 5ppm 0.18
XPS-7PH PH3 1ppm 0.05 XPS-7HF HF 10ppm 0.8 XPS-7OZ O3 1ppm 0.06
XPS-7BH B2H6 500ppb 18 ppb XPS-7HF BF3 1PPM 0.8 XPS-7NO NO 100ppm 0.1
XPS-7SE H2Se 250ppb 12 ppb XPS-7HB HBr 10ppm 0.4 XPS-7SO SO2 10ppm 0.25

日本新宇宙COSMOS XPS-7系列气体检测仪技术指标:

型号

XPS-7

检测对象气体

半导体材料气体

检测原理

定电位电解式

采集方式

泵吸引式

测量范围

根据规格

指示精度

FS±10%以内

分解能

全量程的百分之一表示

报警模式

2段报警方式

报警方式

蜂鸣器(断续音)、报警器闪烁

应答时间※1

60秒以内(60%应答)

使用温度范围

0~40℃

电源

5号碱性干电池4节 或AC专用适配器

连续使用时间※2

连续12小时以上(使用碱性干电池无报警、20℃时)

外形尺寸

W62×H150×D128㎜(突出部分除外)

重量

约1.3kg(不含电池)

标配附件

肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤片2张

选购品

AC专用适配器(AC100V~240V/DC6V)/传感器专用通电台、数据收集配套元件



咨询: XPS-7半导体气体检测仪

*为必填项

*联 系 人
*手机号码
咨询内容